2018年,國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體材料在各方共同努力下,部分領(lǐng)域取得了成績(jī)可喜,但中高端領(lǐng)域用關(guān)鍵材料本土化上進(jìn)展緩慢,取得的突破較少。據(jù)jssia調(diào)研整理:2018年中國(guó)集成電路材料市場(chǎng)銷售收入為793.95億元,同比增長(zhǎng)11.6%,如圖所示。
2016—2018年中國(guó)集成電路材料市場(chǎng)統(tǒng)計(jì)情況見(jiàn)表。
2018年中國(guó)集成電路材料業(yè)技術(shù)進(jìn)展情況
上海新昇已實(shí)現(xiàn)12英寸硅片量產(chǎn),2018年底產(chǎn)能為6萬(wàn)片/月。
浙江金瑞泓具備8英寸硅片12萬(wàn)片/月的產(chǎn)業(yè)化能力,掌握了12英寸硅片核心技術(shù)。
天津中環(huán)8英寸區(qū)熔硅片實(shí)現(xiàn)量產(chǎn),12英寸晶體部分進(jìn)入工藝評(píng)價(jià)階段。
江豐電子超高純金屬濺射靶材產(chǎn)品已應(yīng)用于國(guó)際先進(jìn)制造工藝,16nm節(jié)點(diǎn)實(shí)現(xiàn)批量供貨,滿足國(guó)內(nèi)廠商28nm節(jié)點(diǎn)的量產(chǎn)需求。
晶瑞股份產(chǎn)品包含紫外負(fù)型光刻膠和寬譜正膠及部分g線、i線正膠等高端產(chǎn)品,在國(guó)內(nèi)率先實(shí)現(xiàn)i線光刻膠量產(chǎn)。
中船重工718所研發(fā)生產(chǎn)四氟化硅、六氟乙烷、八氟丙烷、八氟環(huán)丁烷、氟化氫等9種高純氣體及10種混合氣體實(shí)現(xiàn)量產(chǎn),其中:三氟化氮、六氟化鎢打破國(guó)外壟斷。
江化微電子生產(chǎn)超凈高純?cè)噭┌ㄋ釅A類試劑、蝕刻類試劑和溶劑,大部分可達(dá)VL級(jí)和SL級(jí)。其中,VL級(jí)等同于美國(guó)SEME C7標(biāo)準(zhǔn);SL級(jí)等同于美國(guó)SEME C8級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。
鼎龍股份生產(chǎn)CMP拋光墊產(chǎn)品已獲客戶認(rèn)證訂單,公司在28nm以下先進(jìn)制程領(lǐng)域也有研發(fā)布局,打破外資壟斷。